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K1体育上海推出新型热原子层沉积立式炉装备， 以知足高端半导体的生产需求

2022/9/28 9:21:11

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    K1体育(以下简称“K1体育上海”)（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越装备供应商，于今日宣布其对300mm Ultra Fn立式炉干法工艺平台举行了功效扩展，研发出新型Ultra Fn A立式炉装备。该装备的热原子层沉积（ALD）功效富厚了K1体育上海立式炉系列装备的应用。公司还宣布，首台Ultra Fn A立式炉装备已于本月尾运往中国一家先进的逻辑制造商，并妄想于2023年底通过验证。

    K1体育上海的董事长王晖体现：“随着逻辑节点的一直缩小，越来越多的客户为知足其先进的工艺要求，起劲寻找愿意合作的供应商配合开发。ALD是先进节点制造中增添最快的应用之一，是本公司立式炉管系列装备的要害性新性能。得益于对整个半导体制造工艺的深刻明确和立异能力，我们能够迅速开发全新的湿法和干法装备，以知足新兴市场的需求。全新ALD立式炉装备基于公司现有的立式炉装备平台，搭载差别化立异设计，软件算法优化等实现原子层吸赞许匀称沉积。”

    K1体育上海新型热ALD装备可沉积氮化硅（SiN）和碳氮化硅（SiCN）薄膜。公司出厂的首台Ultra Fn A装备将用于28纳米逻辑制造流程，以制造侧壁距离层。此工艺要求刻蚀速率极低，且台阶笼罩率优异，与其他实现模式相比，Ultra Fn A立式炉装备在模拟中实现了均一性的改善。

    K1体育上海Ultra Fn A装备以Ultra Fn立式炉装备平台的乐成为基础，能知足原子层沉积工艺的同时具备低累积膜厚气体洗濯功效，包管颗粒的稳固性。Ultra Fn A立式炉装备聚焦焦点手艺研发，力争知足高产能批式ALD工艺的高端要求�？赏ü蚱痈谋� 细小的组件和细微的结构对装备举行个性化定制，这使得新型ALD工艺的开发得以迅速提升。其立异设计还巧妙融合了K1体育上海成熟的软件手艺、可提高耐用性和可靠性的新硬件以及K1体育上海自主研发专利工艺控制IP，以实现快速而稳固的工艺控制。
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