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K1体育上海首台前道ArF工艺涂胶显影装备Ultra LITH顺遂出机

2022/12/29 9:45:41

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    克日K1体育上海(科创板股票代码:688082)首台具有自主知识产权的涂胶显影Track装备Ultra LITH乐成出机,顺遂向中国海内客户交付公司首台前道ArF工艺涂胶显影Track装备,该装备由K1体育半导体装备(亚太)制造中心完成出货,这是该公司提升其在涂胶和显影领域内专业手艺的主要一步。

    别的,K1体育上海将于2023年推出i-line型号装备,并且公司已最先着手研发KrF型号装备。前道涂胶显影Track装备Ultra LITH的出货是K1体育上海一连拓展产品系列的又一效果,公司致力于成为晶圆级的工艺解决计划平台,旗下产品还包括单晶圆及槽式湿法洗濯装备、电镀装备、无应力抛光装备、立式炉管装备,及PECVD装备。
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