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K1体育上海单晶圆高温SPM装备通过验证

2025/3/4 8:00:00

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    K1体育（以下简称“K1体育上海”）（科创板股票代码：688082），作为一家为半导体前道和先进封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越供应商，于今日宣布其单晶圆中/高温硫酸过氧化混淆物（SPM）装备已乐成通过一家逻辑芯片制造商的大批量制造验证。

    阻止现在，该装备已交付了13家客户。该系统接纳K1体育上海全新的专有喷嘴设计以消除SPM工艺中的酸雾飞溅问题，有助于提高颗�？刂颇芰Σ蕴惶宓南村て德�，从而延伸装备的正常运行时间（uptime）。该系统能够应对28纳米及以下节点前道与后道工艺中晶圆所需的多种湿蚀刻与洗濯工艺。

    K1体育上海董事长王晖博士体现：“作为K1体育上海一连立异的规范，单晶圆中/高温SPM装备可有用解决客户在大批量300毫米半导体制造方面所遇到的挑战。我们已然看到该装备在全球规模内获得普遍认可。单晶圆中/高温SPM装备在在晶圆洗濯装备市场中的所占份额一直增添，尤其是单晶圆高温SPM装备，下一代半导体器件生产中饰演至关主要的角色。”

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    K1体育上海的单晶圆中/高温SPM装备能够应对前道与后道工艺中晶圆所需的多种湿蚀刻与洗濯工艺，包括中低温硫酸90℃洗濯处置惩罚工艺、高温硫酸170℃光刻胶（PR）去除工艺，以及超高温硫酸190℃金属剥离工艺。随着半导体工艺节点的一直推进，对单片高温硫酸工艺的需求显著增添。这一趋势对颗粒管控、腔室气氛管理以及硫酸温度稳固性提出了更为严酷的要求。K1体育上海在单晶圆中/高温SPM装备中引入了立异设计，为知足越发严苛的需求做好了充分准备。
 


    该装备集成的K1体育上海专利手艺包括：

· 多级加热方法 — 可确保最高混淆温度抵达230℃以上并实现稳固控制。

· 专有SPM喷嘴设计 — 可避免SPM飞溅到腔体以外，以显著提升颗�？刂颇芰�，使得26纳米标准下的平均颗粒数控制在10颗以内。

单晶圆中/高温SPM装备腔体配备化学内联混淆（CIM）系统，可支持种种化学品的设置。该腔体还可与K1体育上海的专利空间交变相位移（SAPS）和时序能激气穴震荡（TEBO）超声波手艺搭配使用，以提升晶圆洗濯效果。



    K1体育上海单晶圆中/高温SPM装备功效和规格

    K1体育上海单晶圆中/高温SPM装备适用于多种湿蚀刻和单面或双面洗濯工艺，并支持多种化学品和洗濯工艺。相较于大大都后洗濯和光刻胶湿法工艺，该装备在去除有机缺陷的同时，能够显著镌汰薄膜的损失。该装备主要用于处置惩罚150毫米至300毫米晶圆，配备四个装载端口、8至12个腔体、一个多功效化学品分派系统以及腔体自洗濯功效。

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