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2025/11/19 17:01:00
K1体育（以下简称“K1体育上海”）（科创板股票代码：688082） ，作为一家为半导体前道和先进晶圆级封装应用提供晶圆工艺解决计划的卓越供应商 ，今宣布交付首台来自全球头部显示屏生产商的先进光刻胶固化装备Ultra Lith BK（Baker）订单。
该装备专为解决先进光刻工艺中匀称性缺乏、温度漂移及临界尺寸变异等难题而设计 ，助力制造商在器件尺寸一连微缩的趋势下 ，维持稳固的良率与图形保真度。依附行业领先的紫外固化匀称性与细密温控手艺 ，该装备可实现高度稳固且可重复的光刻工艺。
K1体育上海总司理王坚体现： 随着光刻手艺一直突破精度极限 ，坚持工艺控制的匀称性关于实现稳固良率与器件性能至关主要。Ultra Lith BK的交付标记着K1体育上海的主要里程碑——这是我们在完成前期演示验证后 ，首台实现客户端安排的Track系列装备。此举也意味着我们正式进入对装备性能与稳固性要求更高、具备大规模量产能力的显示屏生产商新客户领域。Ultra Lith BK集高匀称性、可设置架构与无邪曝光模式于一体 ，能资助客户显著抑制工艺变异 ，并为未来手艺节点的量产扩张涤讪基础。
Ultra Lith BK的紫外固化系统可实现±5%的紫外光强度匀称性 ，确保光刻胶在整片晶圆上匀称硬化。该装备支持线扫描、旋转及混淆曝光模式 ，付与工艺最大无邪性。其先进的热管理手艺进一步降低了临界尺寸变异、套刻误差与图形畸变 ，显著提升良率与可靠性。
Ultra Lith BK具有以下特征与优势：
Ultra Lith BK集成六块冷板 ，温度匀称性达±0.1°C。整机接纳可设置设计 ，最多可容纳32块热板与两套紫外固化系统 ，支持客户凭证差别工艺配方与光刻胶集成需求无邪设置。热板提供两种规格：
· 高流量热板最高工艺温度达250°C ，温度匀称性≤0.2%。
· 低流量热板事情温度最高达180°C ，温度匀称性≤0.08% ，为行业领先水准。
